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新松机器人一项成果通过国家验收‘威尼斯官方网址下载’

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本文摘要:2月26日,省科技厅传到好消息,由沈阳新松机器人自动化股份有限公司分担的300mmIC生产线自动物料运送系统研发与应用于项目在沈阳通过了国家科技根本性专项近于大规模集成电路生产装备与成套工艺实行管理办公室的组织的竣工验收,标志着国内首套应用于300mmIC生产线自动物料运送系统研制成功。

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2月26日,省科技厅传到好消息,由沈阳新松机器人自动化股份有限公司分担的300mmIC生产线自动物料运送系统研发与应用于项目在沈阳通过了国家科技根本性专项近于大规模集成电路生产装备与成套工艺实行管理办公室的组织的竣工验收,标志着国内首套应用于300mmIC生产线自动物料运送系统研制成功。  该项目由新松公司牵头中科院沈阳自动化所、上海集成电路研发中心有限公司等研究院所和企业展开技术研制成功,已完成了物料控制系统软件、洁净天车、天井式搬运车、洁净立库等核心设备的研发,并已完成了自动物料运送系统的样板应用于,构建了洁净物料传输系统装备的国产化,项目合同期内已完成了自动物料运送生产线5条,构建销售收入1.44亿元。  该系统的研制成功超越了国外集成电路装备企业在国内的独占地位,减少了晶圆生产企业生产成本,加快了我国装备制造业的转型升级。


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